近日,君創(chuàng)Family企業(yè)致真精密儀器(青島)有限公司(以下簡稱“致真精密”)自主研發(fā)的原子力顯微鏡(AFM)產(chǎn)品成功交付探生科技、東北大學(xué)、廈門大學(xué)等多家標(biāo)桿客戶,針對不同領(lǐng)域的科研與產(chǎn)業(yè)需求,提供了兼具性能優(yōu)勢與定制化功能的高端檢測設(shè)備,標(biāo)志著國產(chǎn) AFM 在多領(lǐng)域應(yīng)用場景中的全面落地。
一、探生科技:多功能模塊支撐探針驗(yàn)證
探生科技采購的致真精密 Atom Explorer 型原子力顯微鏡,憑借集成的多功能模塊,為客戶自研探針的各類驗(yàn)證提供了有力支持,成為其研發(fā)平臺的核心裝備。這款科研級原子力顯微鏡具備亞納米級高分辨率,能夠精準(zhǔn)觀察材料表面形貌與紋理,無論是納米級別的細(xì)微結(jié)構(gòu),還是微米級別的宏觀特征,都能清晰捕捉,為材料與芯片表面形貌分析提供詳盡的視覺信息。
在功能拓展方面,Atom Explorer 還集成了磁力顯微鏡、靜電力顯微鏡、開爾文顯微鏡、壓電力顯微鏡等多種功能模塊。其穩(wěn)定性強(qiáng)、可拓展性良好,能夠根據(jù)客戶需求提供定制化服務(wù)。
二、東北大學(xué):自動化儀器賦能高效科研
針對材料科學(xué)與智能制造領(lǐng)域的高頻檢測需求,東北大學(xué)采購的致真精密Atom Edge 型原子力顯微鏡,以 "智能化 + 易用性" 重新定義科研設(shè)備操作范式。設(shè)備自動化程度高,操作流程簡單無需過多設(shè)置;機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理,換針操作簡單,顯著降低科研人員的技術(shù)門檻,尤其適合多課題組共享使用場景。
三、廈門大學(xué):多功能集成打破學(xué)科壁壘
廈門大學(xué)采購的致真精密Atom Explorer 型原子力顯微鏡,一套設(shè)備實(shí)現(xiàn)多種功能,包含形貌表征(輕敲模式、接觸模式)、磁學(xué)測量(MFM 磁力顯微鏡)、電學(xué)分析(EFM 靜電力顯微鏡、KPFM 開爾文探針力顯微鏡、PFM 壓電響應(yīng)力顯微鏡、STM 掃描隧道顯微鏡)等前沿功能,覆蓋材料科學(xué)、凝聚態(tài)物理、電子信息等多個(gè)學(xué)科的檢測需求,吸引了多個(gè)課題組前來培訓(xùn)學(xué)習(xí)。
四、國產(chǎn)高端儀器的破局之道:從技術(shù)領(lǐng)先到場景深耕
1.科研級原子力顯微鏡 AtomExplorer
產(chǎn)品簡介:
AtomExplorer科研級原子力顯微鏡具備亞納米級高分辨率,用于觀察材料表面形貌、紋理,能夠在納米級別到微米級別的尺度上捕捉材料表面的微小特征和細(xì)微結(jié)構(gòu),為材料與芯片的表面形貌提供詳盡的視覺信息。該產(chǎn)品還集成了磁力顯微鏡、靜電力顯微鏡、開爾文顯微鏡、壓電力顯微鏡;穩(wěn)定性強(qiáng),可拓展性良好,提供定制服務(wù)。該產(chǎn)品作為高精度形貌表征和納米磁學(xué)、電學(xué)測量工具,為高端科研與企業(yè)生產(chǎn)研發(fā)提供更多選擇和助力。
2.小樣品原子力顯微鏡AtomEdge
AtomEdge小樣品原子力顯微鏡可對材料、電子器件、生物樣本等進(jìn)行三維掃描成像。本產(chǎn)品最大可兼容4英寸樣品,具備接觸、輕敲、非接觸等多種工作模式,為用戶提供了更為靈活和精準(zhǔn)的操作選擇。此外,它還集成了磁力顯微鏡、靜電力顯微鏡、掃描開爾文顯微鏡、壓電力顯微鏡、刻蝕和納米操作等多種功能模式,穩(wěn)定性強(qiáng),可拓展性良好。根據(jù)實(shí)際需求,還可拓展近場光學(xué)、拉曼/熒光光譜聯(lián)用、外加磁場、聲學(xué)原子力等功能,是一款真正意義上的小樣品原子力顯微鏡。
3.大樣品原子力顯微鏡AtomMax
利用微懸臂探針結(jié)構(gòu)可對導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣品等固體材料進(jìn)行三維樣貌表征,可實(shí)現(xiàn)大晶圓級大樣品形貌表征。電動樣品定位臺與光學(xué)圖像相結(jié)合,可在 300X300 mm 區(qū)域?qū)崿F(xiàn)1μm的定位精度,激光對準(zhǔn),探針逼近和掃描參數(shù)調(diào)整完全自動化操作。
此次多領(lǐng)域交付,不僅展現(xiàn)了致真精密 AFM 在噪聲控制(開環(huán)縱向噪聲低至 0.03nm)、分辨率(三維納米級)、環(huán)境兼容性(空氣、液相)等核心性能上的國際對標(biāo)實(shí)力,更體現(xiàn)了其 "以客戶需求定義產(chǎn)品" 的研發(fā)理念 —— 針對產(chǎn)業(yè)客戶強(qiáng)調(diào)模塊化與效率,針對高校客戶側(cè)重多功能與易用性,真正實(shí)現(xiàn) "一客一策" 的精準(zhǔn)賦能。
隨著半導(dǎo)體、新能源、生物醫(yī)藥等戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)對納米表征技術(shù)的需求爆發(fā),致真精密正以 "國產(chǎn)儀器 + 場景化解決方案" 雙輪驅(qū)動,致力于加速實(shí)現(xiàn)高端科研裝備的自主可控,為中國科技創(chuàng)新注入 "硬核" 力量。